Автор: | Новожилов Василий Павлович |
Заглавие: | Управление свойствами поверхности и тонких плёнок с помощью электронного облучения |
Год издания: | 1977 |
ВАК: | 01.04.04-физическая электроника |
Ключевые слова: | электронная облучения |
Анотация: | Управление свойствами поверхности и тонких плёнок с помощью электронного облучения |
Выбор языка: | Русский |
| |
Коллекция: | Авторефераты за старые годы |
