Автор: | Бабаев Владимир Георгиевич |
Заглавие: | Влияние ионного облучения на формирование тонких пленок на поликристаллических и монокристаллических подложках |
Год издания: | 1977 |
ВАК: | 01.04.04-физическая электроника, квантовая |
Ключевые слова: | Влияние ионного облучения |
Анотация: | Влияние ионного облучения на формирование тонких пленок на поликристаллических и монокристаллических подложках |
Выбор языка: | Русский |
| |
Коллекция: | Авторефераты за старые годы |
