Анотация: | В научной литературе отсутствуют как экспериментальные так и теоретические результаты по ВИИ материалов при воздействии высоко- и полиэнергетического ионного пучка. Имеются только отдельные работы где анализируются экспериментальные результаты ВИИ только по средним значениям энергий ионов. Показано, что в ускорителях ВИИ "Радуга-5", "Диана-2" в зависимости от комбинации "ион-мишень" концентрационные профили внедряемых частиц по глубине поверхности мишени имеют широкие максимумы с аномально глубоким проникновением ионов в приповерхностную область материала по сравнению с табличными значениями проективного пробега ионов в материал. В рамках существующих теоретических моделей наблюдаемые экспериментально аномальные концентрационные профили объяснить не удается. В связи с этим проблема разработки теоретического подхода, учитывающего имплантацию при высоких (≥1017 ион/см2) дозах полиэнергетическими пучками становится актуальным. |
